V74系列美國KJLC半導體矩形閘閥規(guī)格表
更新時間：2025-09-10 點擊次數(shù)：143 次
V74系列美國KJLC半導體矩形閘閥采用等離子體蝕刻，CVD，濺射沉積，太陽能電池板的制造，半導體處理LCD/平板工藝，所有其他集群真空系統(tǒng)。
V74系列美國KJLC半導體矩形閘閥規(guī)格表如下：
| 壓力 | Torr Min： 7.50 X 10 -10 Torr Max： 900 Torr MBAR 最小值： 1.00 x 10 -9 MBAR 最大： 1200 MBAR |
|---|---|
| 費率 | 氦泄漏率 1.00 x 10 -9 mbar*l/s 7.50 x 10 -10 torr*l/s 最大差壓力前 30.0 mbar 22.5 torr |
| 溫度 | 烘焙執(zhí)行器溫度 60.0oC140oF 烘烤 體溫 120oC248oF 烘焙 門溫度 120oC248oF |
| 軸密封 類型 | 波紋管密封 |
| 循環(huán) 生活 | 1,000,000 |
| 執(zhí)行器 類型 | 氣動雙重表演 |
| 閥體 材料 | 鋁 |
| 門密封 材料 | 氟化合物（FKM） |
V74系列美國KJLC半導體矩形閘閥特征
半標準應(yīng)用（Semi E21-94，Semi E24-92，Semi E21.1-1296）
獲得的L動作鏈路和雙重偏移而沒有彈簧中的彈簧，使更快，更順暢地致動，顯著降低了振動
帽子法蘭的真空側(cè)的灰塵密封，幾乎消除了顆粒物進入波紋管
機械鎖緊
焊接的波紋肌執(zhí)行器密封
單個氣動執(zhí)行器
引擎蓋法蘭螺栓設(shè)計有固定器，以消除螺栓在拆卸時掉落
