BDS2型美國BIRD傳感器為RF驅(qū)動的等離子體應(yīng)用設(shè)計，可在基本和諧波和諧波中調(diào)制頻率之間提供實時電壓，電流，相位角和阻抗。，通過動態(tài)阻抗跟蹤和時間同步測量，它提供了優(yōu)化匹配調(diào)整，檢測過程漂移和穩(wěn)定室條件所需的可見性。它是為Fab Floor建造的，它將計量級的性能帶入現(xiàn)場生產(chǎn) - 因此您可以清晰和自信地控制RF過程。

  BDS2型美國BIRD傳感器產(chǎn)品介紹如下：

每個頻率的阻抗清晰度

與基本VI探針不同，BDS2計算基本，諧波和IMD組件之間的阻抗，回報損失和反射系數(shù)。

這使得傳統(tǒng)傳感器缺乏的微調(diào)過程控制和更智能的故障診斷。

實時的總信號可見性

BDS2不僅測量向前和反射功率，還可以同時捕獲電壓，電流和相位角度。

您可以在每個相關(guān)頻率（不僅僅是基本面）中獲得RF信號的完整，時間同步的視圖。

無縫集成而無需干擾

鳥類定制設(shè)計的傳感器頭經(jīng)過精心設(shè)計，可以落入現(xiàn)有的RF路徑，而不會改變阻抗特性或交付幾何形狀。

這意味著您可以在不更改經(jīng)過驗證的過程配方的情況下獲得精確的VI-φ測量。

蝕刻和沉積終點檢測

跟蹤相移和諧波行為，以實時和實時檢測層過渡和過程完成。

等離子體弧檢測和表征

通過瞬態(tài)RF簽名檢測ARC事件 - 通過及早捕獲故障來保護(hù)硬件并減少計劃外的停機(jī)時間。

低開放區(qū)域端點檢測

通過監(jiān)視微妙的RF簽名更改，在低開放區(qū)域功能中啟用可靠的端點控制可能會失敗。

脈沖RF工藝優(yōu)化

通過微秒級別的分辨率解析瞬態(tài)脈沖行為 - 允許對占空比的良好控制，上升/秋季時間以及脈沖RF食譜中的匹配性能。

室清潔驗證

通過分析清潔前/清潔后的RF特征來確認(rèn)室清潔有效性 - 恢復(fù)血漿均勻性并保持穩(wěn)定。

離子通量和能源趨勢分析

使用時間分辨的VI行為將血漿密度和離子通量相關(guān)聯(lián) - 了解蝕刻速率，選擇性和均勻性。

等離子體劃分過程控制

監(jiān)視VI和阻抗數(shù)據(jù)，以在晶圓上保持穩(wěn)定的等離子體條件，以獲取精確的切割并大程度地減少等離子體劃分應(yīng)用中的底物損傷。

會議室到室的匹配

通過比較電壓，電流，相位和阻抗來確?？邕^程工具的一致交付，這對于工具匹配和范圍均勻的均勻性至關(guān)重要。

血漿點火檢測和控制

跟蹤等離子體點火的電壓和當(dāng)前行為，以優(yōu)化匹配的網(wǎng)絡(luò)預(yù)設(shè)，確?？焖倭T工時間并防止點火故障。

匹配網(wǎng)絡(luò)健康監(jiān)測

通過實時阻抗跟蹤和相位角度分析確定組件降解或不匹配問題。

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