R9-312EP3H4F-000型美國PARKER微型隔離閥屬于PARKER R9系列微型流體控制器件，專為高純度介質(zhì)隔離設(shè)計。該系列閥門采用直動式結(jié)構(gòu)，通過精密加工的閥體與彈性隔膜組件實現(xiàn)介質(zhì)流動的快速切斷。

  R9-312EP3H4F-000型美國PARKER微型隔離閥應(yīng)用場景如下：

半導(dǎo)體行業(yè)

用于刻蝕機臺、CVD設(shè)備的介質(zhì)隔離，防止交叉污染。在300mm晶圓產(chǎn)線中，閥門啟閉次數(shù)可達(dá)10次以上。

生物制藥

符合FDA 21 CFR Part 177標(biāo)準(zhǔn)，適用于疫苗生產(chǎn)中的無菌介質(zhì)隔離。在GMP車間中，閥門表面粗糙度Ra≤0.8μm，便于CIP/SIP清洗。

核能領(lǐng)域

經(jīng)特殊強化處理的版本可用于RCS系統(tǒng)，在斷電時自動保持關(guān)閉狀態(tài)，維持壓力邊界完整性。

  R9-312EP3H4F-000型美國PARKER微型隔離閥核心技術(shù)特征：

密封結(jié)構(gòu)

創(chuàng)新性采用隔膜-閥桿一體化密封設(shè)計，消除傳統(tǒng)填料密封結(jié)構(gòu)，泄漏率低于10^-6 Pa·m3/s，滿足SEMI F78標(biāo)準(zhǔn)對超純流體系統(tǒng)的要求。

材料組合

閥體：316L不銹鋼或哈氏合金C276，耐強酸強堿腐蝕

隔膜：EPDM/Viton復(fù)合材質(zhì)，耐溫范圍-40℃至180℃

閥座：PEEK工程塑料，避免金屬離子析出

驅(qū)動方式

支持氣動/電動雙模控制，響應(yīng)時間≤0.5秒。氣動版本采用先導(dǎo)式活塞結(jié)構(gòu)，工作壓力0.1-0.8MPa；電動版本集成步進(jìn)電機，定位精度±0.1°。

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