美國(guó)BIRD 4027A800K型定向功率傳感器設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體加工和其他精密加工應(yīng)用。在校準(zhǔn)頻率和功率水平下，這些傳感器的精度可達(dá) 1%。這些傳感器旨在與 Bird 4421A 系列精密多功能功率計(jì)配合使用，使長(zhǎng)期單位精度提高三倍。

   美國(guó)BIRD 4027A800K型定向功率傳感器應(yīng)用場(chǎng)景介紹如下：

半導(dǎo)體制造與材料處理

在半導(dǎo)體晶圓加工中，該傳感器用于實(shí)時(shí)監(jiān)控射頻功率輸出，確保蝕刻和沉積工藝的一致性。其高精度特性可檢測(cè)微小功率波動(dòng)，預(yù)防設(shè)備故障，提升良品率。

工業(yè)加熱與能源管理

針對(duì)高頻感應(yīng)加熱設(shè)備，傳感器支持功率閉環(huán)控制，優(yōu)化能源效率。例如，在金屬熔煉過(guò)程中，其寬動(dòng)態(tài)范圍適應(yīng)不同負(fù)載條件，減少能耗浪費(fèi)。

科研與測(cè)試領(lǐng)域

科研機(jī)構(gòu)利用其寬頻帶性能進(jìn)行電磁兼容性測(cè)試，推動(dòng)新材料研發(fā)。在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中，傳感器提供穩(wěn)定的反射功率測(cè)量，支持前沿技術(shù)驗(yàn)證。

使用與維護(hù)指南

為大化傳感器壽命和精度，建議遵循以下實(shí)踐：

?功率與電壓管理?：避免超出3瓦至10千瓦的動(dòng)態(tài)范圍，使用射頻限幅器保護(hù)高功率輸入；防止直流電壓過(guò)載，以免損壞內(nèi)部元件。

?連接器維護(hù)?：定期檢查射頻接口，確保連接器清潔且無(wú)損傷，減少傳輸損耗和測(cè)量誤差。

?環(huán)境控制?：存儲(chǔ)于干燥、溫度穩(wěn)定的環(huán)境中，避免濕度和灰塵影響性能。

  美國(guó)BIRD 4027A800K型定向功率傳感器規(guī)格：

頻率范圍： 800-950kHz

功率范圍： 3 W 至 10 kW

精度：校準(zhǔn)頻率和功率電平時(shí)為 ±1%

其他頻率和功率電平時(shí)為 ±2% 在

25 ± 10 °C 以外的不確定度中增加 2%

校準(zhǔn)功率水平： 1000W 裝置：700 瓦

10kW 裝置：1700 瓦

均勻度：在校準(zhǔn)頻率和功率水平下，單位間大偏差為 2%

速度：每秒 2 個(gè)讀數(shù)

大功率： 10 kW 裝置 - 12 kW（大）

1 kW 裝置 - 1.2 kW（大）

諧波含量： -50 dBc（大值）

駐波比范圍： 1.0-2.0

方向性： 28分貝

插入損耗： <0.05 dB

外部直流： 12 VDC，由4421A 多功能功率計(jì)供電

連接器：輸入和輸出連接器必須單獨(dú)訂購(gòu)，需額外付費(fèi)

校準(zhǔn)周期： 6個(gè)月。為單位提供數(shù)據(jù)之前的性能和之后的性能

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